EUVA Official Web Site | Industrial association for EUVL R&D

極端紫外線露光システム技術開発機構(Extreme Ultraviolet Lithography System Development Association)
http://www.euva.or.jp/index.html
究極の半導体製造技術 - 波長13.5nm EUVリソグラフィの課題と将来性を探る
http://pcweb.mycom.co.jp/articles/2004/10/22/euvl/002.html
Nikon Accelerates Electron Projection Lithography To 70nm
Electronic News -- Electronic News, 2/22/2001
http://www.reed-electronics.com/electronicnews/article/CA93452.html

次世代LSI用リソグラフィー技術の研究開発動向
http://www.nistep.go.jp/achiev/ftx/jpn/stfc/stt002j/feature2.html
半導体コンソーシアムポータルサイト
http://www.semiconductorportal.com/GSC/shodescr.cfm?nm=EUVA