protocol

surface reaction MC tips: 表面塩素化の状態のpresentation

~/planar_surface/ ディレクトリにあるスクリプト(pickup_Clbond.pl)を利用 # Cl_bondのファイルから Cl原子を含むセルを #抽出し、 #その原子の位置座標をランダムに決定して出力 # (surface chlorination のplot を行う)

表面部分のデータの抽出

(pickup_surface_data.pl) $MASKTOP_Y = 10 ; $SIDEWALLLEFT_X = 59 ; $SIDEWALLRIGHT_X = 244 ; $BOTTOM_Y = 378 ; $DOMAINEND_X = 303 ;↑の部分の値がわからない場合は、 #if($z[$i_x + $N_X * $i_y] > 0) のコメントを外す #!/usr/bin/perl#== ./pickup_s…

surface reaction MC プロジェクトのtips: Yield vs flux ratio

Yield vs flux ratio の図の作成 Langmuir adsorption model によるfitting (for comparison) 飽和状態でのetch yield を Y0 とすると、実効的な yieldは Y = Sn (Γn/Γi)Y0 / (Sn(Γn/Γi) + Y0)Y0 は Y0 = C(√Ei - √Eth) の式で決定し、C = 0.36, Eth = 10 eV…

surface reaction MC プロジェクトのtips: flux のカウンタ

flux のカウンタ追加 atom_struct.h で条件設定 FLAG_FLUX_COUNT = TRUE ;とする。 中性粒子のfluxの場合分け (1) reemission が無い場合(direct fluxのみを数える場合, Sn = 1) shape_trim.ccファイル中の settle_Cl_into_bareSi関数で、 return FALSE ;…

iadfファイルの作成

(multilayer reaction〜のfig. 2用) laptop$ ruby/iadf_create.rb で出力を行う。ファイル中の R = 70.0 #200.0 の値を書き換えて実行。

データの並べ替え

上記プロジェクトで、鏡面境界条件を用いているのでExcelを用いてデータを並べ替えてコピーする必要がある。 Excelでは データ→並べ替えで順序の入れ替えができるここでは単純に順序を逆にするだけなので、下記のperlスクリプトでも対応可 http://www.rfs.jp…

microstructure プロジェクトのtips

入射角度分布をpresentation用とプロジェクトの入力用に使い分ける presentation: horizontalに正射影を取ったもの(iadf_for_presentation.rb) プロジェクト:極座標で角度分布を取ったもの (iadf.rb) (Charging phaseの)実行後 substrate_surface_flatten…

RF放電の計算結果のまとめ

V-I 特性のプロット: average_phi_left.pl を使って数サイクルの平均をとる Sigmaplotによるplot: X Many Y のプロットで、Yは I -> Id -> Ie -> Ii の順 line thickness : 0.4 mm (dotted : 0.7 mm) IADF iadf_for_presentation.rbスクリプトを用いる

string 法による形状進展シミュレーション

"epsr400.for" (developed by Tuda)について: パターン幅の設定を小さくすると stringの長さの初期設定が基準(SMIN, SMAX)を満たさなくなるので、調整する必要がある。 500nm: NPNT0= 40, SMIN=0.02d+0, SMAX=0.06d+0 200nm: NPNT0= 40, SMIN=0.01d+0, SMAX…

Cl原子の分布/EGGXによるプロット

matrixCl.c ファイルの下の部分のどちらかをコメントアウト //=== z は十の位が酸素の数、一の位がClの数 // なので // Cl の場合: 10 で mod を取った値を用いる //z = fmod( z, 10.0) ;// 酸素の場合:10 で割って小数点以下切捨て // 値は 0 〜 2 なので…

profile dataの処理

tableの作成(unix) gnuplot の profile.plt を書き換える ls -t Si_matrix* | moreコマンドで、プロファイルをリストアップするとよい set t table set o 'table0.dat' splot 'Si_matrix0.dat' w l set o 'table1.dat' splot 'Si_matrix63190.dat' w l set o…

Yield を解析する場合

atom_struct.h : NO_MASK マクロ atom_struct.h : N_CELL_X 設定 atom_struct.h : 注入イオン数:30000 header_main.h : iadfのファイル設定 header_main.h : 係数C monte_carlo.cc : 係数C 係数Cに関して:0.90537 -> 0.36 に修正したので注意。(以前取っ…