2004-10-26 半導体製造装置関連真空・クリーン化技術 major (特許庁) http://www.jpo.go.jp/shiryou/s_sonota/hyoujun_gijutsu/semicon_vacuum_tech/mokuji.htm 2−2−2 ドライポンプ(1) http://www.jpo.go.jp/shiryou/s_sonota/hyoujun_gijutsu/semicon_vacuum_tech/2_2_2a.htm